MicroFlow的質量流量計系列是檢測部采用了本公司獨立開發的熱式流速傳感器「μF傳感器（Micro Flow Sensor）」的質量流量計。
使用微型機器技術、把超微細的流速傳感器與高級的流路設計技術進行融合，用低價格實現了以前沒有的高精度、寬可調比。
適用于生產工序、實驗裝置等使用的燃料煤氣?各種工業煤氣?工廠空氣的流量管理及各車間的使用量管理等。
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質量流量檢測
與空氣、煤氣的使用溫度、壓力無關，可測量換算成標準狀態下的流量。
（* 標準狀態下的流量是指在1個大氣壓、0°C（或20°C）時的體積流量。）
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寬廣的測量范圍
相對于測量流量的低流量區域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過搭載μF傳感器，可實現寬廣范圍的測量、控制。實現了質量流量計CMS的可調比100：1、大流量質量流量計CML的可調比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調比！
適合于空氣及燃氣的使用量的管理、及節能的漏氣管理。
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快速響應
傳感器直接與氣體接觸進行檢測，實現了快速響應。
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低圧損構造
μF傳感器設置在流路的壁面上，所以阻礙流體流動的構造體少，具有低壓力損失的特點。適合于低圧氣體流量的檢測、控制。
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高精度
質量流量計采用RD（讀數）精度規定，實現了寬廣流量區域下的高精度檢測。
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各種功能
通過控制機器積累的微電腦的技術，搭載了以前的質量流量計沒有的各種功能。
瞬時／累積流量顯示、煤氣種類切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等 （* 因產品而異）
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種類豐富的產品
根據使用用途，備有從0～500mL/min到0～1600m3/h的寬廣流量區域的產品。
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