英特格ENTEGRIS在線氣體過濾器WG2F15HJJ6
Wafergard??II?F-1500?在線氣體過濾器
幻燈片細節。?
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為超純氣體系統提供卓越的微粒過濾，同時提供與所有類別的半導體工藝氣體的出色兼容性。
PTFE?膜提供高效過濾?
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險?
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性?
通過真空袋和雙袋包裝的潔凈室提供卓越的開箱即用清潔度
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應用
Wafergard
?II?F-1500?在線氣體過濾器應用
設施入口
隔板
設施追逐?
產品規格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結構支撐的疏水?PTFE?膜
住房? 電拋光?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?>0.01?μm
揮發物 <10?ppb?水分@≥5%?額定流量
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內部 ≤10?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2×10?-10??atm?cc/秒
經過測試 1×10?-9??atm?cc/秒
運行條件 最大入口壓力 18?bar?(250?psig)?在?23°C?(73°F)
最大正向壓差 7?bar?(120?psid)?在?23°C?(73°F)
最大反向壓差 23°C?(73°F)?時為?2.5?bar?(36?psid)
最高工作溫度 120°C?(248°F)
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?1500?slpm?下去除所有顆粒（參考最滲透顆粒尺寸）
流量等級 查看性能數據
零件號
Wafergard??II?F-1500?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F15HJJ4 1/2"?對焊管 295.0?毫米（11.60?英寸）
WG2F15HJJ6 3/4"?對焊管 295.0?毫米（11.60?英寸）
WG2F15HRR2 3/4"?墊圈密封（與?VCR??接頭兼容），外螺紋入口/出口 398.0?毫米（15.68?英寸）
WG2F15HRR3 3/8"?墊圈密封（與?VCR??接頭兼容）外螺紋入口/出口 225.0?毫米（8.86?英寸）
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ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
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ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?XX67000WH?? ?過濾器
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ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01KL0?? ?過濾器
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Entegris?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?
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ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
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Entegris?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過濾器
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ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
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Entegris?? ??? ?WG3NS6RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS2RR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103N?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?CR4-2C-6F-3?? ?氣動閥
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ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?氣動閥
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ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
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Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F15HJJ6?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPRR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器