英特格Eximor? SV1 一次性過濾器，PRLV0S1S1
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Eximor??SV1?一次性過濾器是高清潔使用點?(POU)?過濾器，適用于?RRC?溶劑和?NTD?顯影劑等關鍵光化學物質。
在?28?nm?以下的技術節點提供出色的粒子保留和快速啟動
芯填充結構減少了整個過濾器啟動時間并降低了過濾器啟動期間的成本
高效啟動有助于減少缺陷并實現快速、高穩定性和可重復性?
專有的聚乙烯基薄膜技術可減少晶圓上的缺陷并以低壓力損失去除細顆粒
非篩分效應進一步減少顆粒并在啟動過程中將清潔溶劑輸送到晶圓上?
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產品規格
材料?? ?篩選?? ?UPE
??? ?外殼、核心、支撐?? ?高密度聚乙烯（HDPE）
??? ?O型圈（OF型）?? ?卡雷茲
使用條款?? ?最大工作壓力?? ?0.34 Mpa @ 25°C
??? ?最大允許正壓差/反向壓差?? ?0.27MPa @ 25°C
??? ?最高工作溫度?? ?40°C
對應化學液?? ?環己酮 (CHN)、甲基戊基酮 (MAK)、乙酸正丁酯 (nBA)、乳酸乙酯 (EL)、丙二醇甲醚乙酸酯 (PGMEA)、丙二醇單甲醚 (PGME)、所有 PGME/PGMEA 混合溶劑
保持音量?? ?110 毫升?? ??
流量?? ?250 mL/min (20 °C, 1 mPa s) @ 壓降 0.03 MPa
Entegris 建議至少每年更換一次過濾器，以確保獲得最佳過濾性能。定期更換可減少因過度使用而導致化學品泄漏的機會。
Entegris 的標準保修期為自發貨之日起一年。