Wafergard® GTL 在線氣體過濾器
以高達 60 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。
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提供高效、低成本、使用點的惰性氣體過濾
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>99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 µm 的顆粒
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應用Wafergard® GTL 在線氣體過濾器應用
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低進氣過濾器
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晶圓輸送系統
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清潔干燥空氣 (CDA)產品規格
零件號
Wafergard® GTL 在線氣體過濾器部件號
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零件號 |
接頭尺寸和類型 |
長度 |
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WGFG01DSH |
RC 1/4（PT1/4 母頭） |
101 毫米（4.0 英寸） |
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WGFG01DSO |
1/4" NPT（內螺紋） |
101 毫米（4.0 英寸） |
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材料 |
膜： |
疏水性氟聚合物 PTFE |
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支架、外殼： |
聚砜 |
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推薦流量 |
60 升/分鐘 |
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連接 |
Rc1⁄4（PT1⁄4 內螺紋），1⁄4” NPT 內螺紋 |
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膜面積 |
25 厘米2 (3.9 英寸2 ) |
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顆粒保留 |
>99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺寸下驗證） |
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運行條件 |
最大工作壓力： |
0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C |
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最大正向壓差： |
0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C |
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最大反向壓差： |
0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C |
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最高工作溫度： |
50°C (122°F) |
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方面 |
直徑： |
25 毫米（0.98 英寸） |
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長度： |
101 毫米（4.0 英寸） |