英特格ENTEGRIS,氣體擴散器，CG2NDD050R2
?
Chambergard ?FV50D XL 氣體擴散器
快速減少負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間，并具有高效且堅固的鎳盤膜。
額定循環次數為 1,000,000 次，設計用于在更高的入口壓力下運行
緊湊型擴散器單元中的專利燒結鎳技術可在所有應用中提供卓越的性能
從進入的氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒，最大限度地減少晶圓缺陷
易于安裝/改裝到現有工具中，最大限度地減少停機時間
?Chambergard ?FV50D XL 氣體擴散器應用
提供快速的氣體排放到大氣中，而不會干擾或向腔室中的晶片添加顆粒
料?? ?擴散器元件：燒結鎳膜過濾器
??? ?外殼：316L不銹鋼
??? ?內部表面光潔度：<32 μin Ra
O形圈?? ?材質：氟橡膠
??? ?尺寸：2-229
??? ?槽內徑：59.9 毫米（2.36 英寸）
??? ?凹槽外徑：67.9 毫米（2.67 英寸）
??? ?凹槽深度：2.6 毫米（0.10 英寸）
連接?? ?入口： 1/4" VCR ?兼容公墊圈密封接頭
??? ?出口：ISO NW50 隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容
下游清潔度?? ?清潔度 小于 0.03 個顆粒/升 (< 1 個顆粒/ft 3 ) >0.01 μm 額定流量
移除等級?? ?>0.0015 μm
運行條件?? ?出口至真空的最大入口/出口壓力：4 bar (70 psig)
??? ?最大壓差：5 bar (75 psid)
??? ?最高工作溫度：100°C (212°F)，帶 O 形圈；400°C (752°F) 無 O 形圈
保修單?? ?5 年或 1,000,000 次循環
?