霍尼韋爾Midas 氣體探測器，邁達斯為半導體加工和工業制造中的氣體檢測帶來新的可見性、可靠性和易用性。
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霍尼韋爾Midas 氣體探測器，邁達斯產品概述：
Midas 氣體檢測儀使用可靠的傳感器技術來檢測工廠中的許多關鍵有毒氣體、環境氣體和易燃氣體。該設備可監控最遠 100 英尺（30 米）外的點，同時使用專利技術調節流速并確保無差錯氣體檢測。由于霍尼韋爾使用了先進的機器人技術，Midas 氣體探測器提供了無與倫比的質量和可靠性：
提高了可視性和易用性。Midas 氣體探測器配備明亮的 LED 燈和直觀的交互式界面，可提供氣體讀數或警報級別的即時警報。該界面還包括用于配置、測試和校準的密碼保護菜單。
簡易安裝。Midas 氣體探測器體積小巧，帶有易于操作的金屬底盤，安裝簡單。這在空間非常寶貴的擁擠、復雜的過程環境中尤其重要。
眾多應用。Midas 氣體檢測儀功能豐富且易于使用，適用于許多行業應用，包括半導體加工、輕工業制造、大學實驗室、航空航天、廢水處理等。
附加功能和優勢：
超過 35 種氣體可提供 2 年延長保修*
帶有板載“電子校準”證書的智能傳感器盒
3 個內置繼電器（C 型），用于報警 1、2 和故障
以太網供電 (PoE) 通信
鍵盤界面和遠程網絡瀏覽器界面
可選的 Midas Pyrolyzer 模塊，可連接到任何 Midas 氣體探測器
受密碼保護的菜單級別，以保持系統完整性
明亮的 LED 和直觀的圖標驅動、大型多色背光 LCD 顯示屏
工廠校準的傳感器可減少對頻繁氣體測試的需求
帶故障和事件報告的隔離 0-22 mA 模擬輸出
Modbus/TCP 以太網可輕松連接到所有控制和報警系統端口，以實現控制連接和服務交互
強大的抽取泵系統（2 年使用壽命）采樣高達 100 英尺
CE 標志可完全抗射頻干擾
Reflex 傳感器健康檢查以提高安全性
TempraSureTM 溫度補償技術（視情況而定）
事件記錄以查看傳感器歷史記錄
特點與優勢：
無差錯檢測超過 35 種氣體
提高可見性和易用性
簡易安裝
快速規格：
流速：500 毫升/分鐘
運輸時間：最長 2 到 30 秒
采樣管線：0.125 in ID x 0.25 in OD
Gas Name Chemical Formula
Ammonia NH3
Arsine AsH3
Boron Trichloride BCl3
Boron Trifluoride BF3
Bromine Br2
Carbon Dioxide CO2
Carbon Monoxide CO
Chlorine Cl2
Chlorine Dioxide ClO2
Diborane B2H6
Dichlorosilane H2SiCl2
Difluoromethane* CH2F2
Disilane Si2H6
Fluorine F2
Germane GeH4
Hexafluorobutadiene* C4F6
Hydrogen (% LEL) H2
Hydrogen (ppm) H2
Hydrogen Bromide HBr
Hydrogen Chloride HCl
Hydrogen Cyanide HCN
Hydrogen Fluoride HF
Hydrogen Sulfide H2S
Methane (% LEL) CH4
Methyl Flouride* CH3F
Nitric Oxide NO
Nitrogen Dioxide NO2
Nitrogen Trifluoride* NF3
Octaflourocyclopentene* C5F8
Oxygen O2
Ozone O3
Phosphine PH3
Silane SiH4
Sulfur Dioxide SO2
Tetra Ethyl Ortho Silicate TEOS
Tungsten Hexafluoride WF6
氨 MIDAS-S-NH3 氨 10
氫化物MIDAS-S-ASH 砷化三氫 20
MIDAS-S-HYD 硼乙烷，鍺烷 20
MIDAS-S-PH3 磷化氫 20
MIDAS-S-SHX 硅烷(20 ppm)，乙硅烷 20
MIDAS-S-SHL 硅烷 (2 ppm) 20
MIDAS-S-HSE 硒化氫 20
無機酸 (HF) MIDAS-S-HFX 氟化氫，三氟化硼，三氟化氮，六氟化鎢 20
MIDAS-S-SF4 四氟化硫，三氟化氯 20
無機酸 (HCl) MIDAS-S-HCL
氯化氫，三氯化硼，二氯甲硅烷， 溴化
氫
20
MIDAS-S-POC 氯氧化磷 20
鹵素MIDAS-S-HAL 氯，氟 10
MIDAS-S-BR2 溴，二氧化氯 20
二氧化碳 MIDAS-S-CO2 二氧化碳 20
一氧化碳 MIDAS-S-COX 一氧化碳 10
氫 MIDAS-S-H2X 氫 10
氰化氫MIDAS-S-HCN 氰化氫 10
硫化氫 MIDAS-S-H2S 硫化氫 10
一氧化氮MIDAS-S-NOX 一氧化氮 10
二氧化氮 MIDAS-S-NO2 二氧化氮 10
氧氣 MIDAS-S-O2X 氧氣 30
臭氧 MIDAS-S-O3X 臭氧 10
二氧化硫 MIDAS-S-SO2 二氧化硫 10
正硅酸乙酯 MIDAS-S-TEO 正硅酸乙酯 10
易燃物 MIDAS-S-LEL 氫，甲烷 30
MIDAS-S-NH3 氨 0-100 ppm 01 不適用
MIDAS-S-ASH 砷化三氫 0-0.2 ppm 02 不適用
MIDAS-S-HYD 硼乙烷 0-0.4 ppm 03 1
鍺烷 0-0.8 ppm 03 2
MIDAS-S-PH3 磷化氫 0-1.2 ppm 04 不適用
MIDAS-S-SHX 硅烷(20) 0-20 ppm 05 1
乙硅烷 0-20 ppm 05 2
MIDAS-S-SHL 硅烷(2) 0-2 ppm 06 不適用
MIDAS-S-HSE 硒化氫 0-0.4 ppm 07 不適用
氟化氫 0-12 ppm 08 1
三氟化硼 0-8 ppm 08 2
三氟化氮 0-40 ppm 08 3
MIDAS-S-HFX
六福化鎢 0-12 ppm 08 4
MIDAS-S-SF4 四氟化硫 0-0.8 ppm 09 1
三氟化氯 0-0.8 ppm 09 2
氯化氫 0-8 ppm 10 1
三氯化硼 0-8 ppm 10 2
二氯甲硅烷 0-8 ppm 10 3
MIDAS-S-HCL
溴化氫 0-8 ppm 10 4
MIDAS-S-POC 氯氧化磷 0-0.8 ppm 11 不適用
MIDAS-S-HAL 氯 0-2 ppm 12 1
氟 0-4 ppm 12 2
MIDAS-S-BR2 溴 0-0.4 ppm 13 1
二氧化氯 0-0.4 ppm 13 2
MIDAS-S-CO2 二氧化碳 0-2% Vol 14 不適用
MIDAS-S-COX 一氧化碳 0-100ppm 15 不適用
MIDAS-S-H2X 氫 0-1000 ppm 16 不適用
MIDAS-S-HCN 氰化氫 0-20 ppm 17 不適用
MIDAS-S-H2S 硫化氫 0-40 ppm 18 不適用
MIDAS-S-NOX 一氧化氮 0-100 ppm 19 不適用
MIDAS-S-NO2 二氧化氮 0-12 ppm 20 不適用
MIDAS-S-O2X 氧氣 0-25% Vol 21 不適用
MIDAS-S-O3X 臭氧 0-0.4 ppm 22 不適用
MIDAS-S-SO2 二氧化硫 0-8 ppm 23 不適用
MIDAS-S-TEO 正硅酸乙酯 0-40 ppm 24 不適用
MIDAS-S-LEL 氫 0-100% LEL1 25 1
甲烷 0-100% LEL1 25 2
描述 范圍 零部件編號
氨 0-100 ppm MIDAS-S-NH3
砷化三氫 0-0.2 ppm MIDAS-S-ASH
三氯化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
三氟化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
氯 0-2 ppm MIDAS-S-HAL
二氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
三氟化氯 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
二氧化碳 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2
一氧化碳 0-100 ppm MIDAS-S-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD
二氯甲硅烷 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
乙硅烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-S-HAL
鍺烷 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD
氫* 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X
氫 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
溴化氫 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氯化氫 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氰化氫 0-20 ppm MIDAS-S-HCN
氟化氫 0-1 2 ppm MIDAS-S-HFX
硒化氫 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE
硫化氫 0-40 ppm MIDAS-S-H2S
甲烷 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-S-NOX
二氧化氮 0-1 2 ppm MIDAS-S-NO2
三氟化氮 0-40 ppm MIDAS-S-HFX
氧氣 0-25% v MIDAS-S-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X
磷化氫 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC
硅烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
硅烷，低級別 0-2 ppm MIDAS-S-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-S-SO2
四氟化硫 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
TEOS 四乙基原硅酸酯 0-40 ppm MIDAS-S-TEO
六氟化鎢 0-12 ppm MIDAS-S-HFX
1 MIDAS
氨 0-100 ppm MIDAS-E-NH3
砷化三氫 0-0.2 ppm MIDAS-E-ASH
三氯化硼 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
三氟化硼 0-8 ppm MIDAS-E-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
氯 0-2 ppm MIDAS-E-HAL
二氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
三氟化氯 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
二氧化碳 0-2.0% vol MIDAS-E-CO2
一氧化碳 0-100 ppm MIDAS-E-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-E-HYD
二氯甲硅烷 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
乙硅烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-E-HAL
鍺烷 0-0.8 ppm MIDAS-E-HYD
氫 0-1000 ppm MIDAS-E-H2X
氫 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
溴化氫 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氯化氫 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氰化氫 0-20 ppm MIDAS-E-HCN
氟化氫 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
硒化氫 0-0.4 ppm MIDAS-E-HSE
硫化氫 0-40 ppm MIDAS-E-H2S
甲烷 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-E-NOX
二氧化氮 0-12 ppm MIDAS-E-NO2
三氟化氮 0-40 ppm MIDAS-E-HFX
氧氣 0-25% v MIDAS-E-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-E-O3X
磷化氫 0-1.2 ppm MIDAS-E-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-E-POC
硅烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
硅烷 低級別 0-2 ppm MIDAS-E-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-E-SO2
四氟化硫 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
TEOS 四乙基原硅酸酯 0-40 ppm MIDAS-E-TEO
六氟化鎢 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
完整的探測器套件和探測器盒的描述 套件部件編號
氨0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NH3
砷化三氫0-0.2 ppm 套件 MIDAS-K-ASH
三氯化硼 0-8 ppm，二氯甲硅烷 0-8 ppm，溴化氫 0-8 ppm，
氯化氫 0-8 ppm
MIDAS-K-HCL
三氟化硼 0-8 ppm，氟化氫 0-12 ppm，三氟化氮 4-40 ppm，
以及六氟化鎢 0-12 ppm 套件
MIDAS-K-HFX
溴 0-0.4 ppm 與二氧化氯 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-BR2
氯 0-2 ppm 與氟 0-4 ppm 套件 MIDAS-K-HAL
二氧化碳 0-2.0% v 套件 MIDAS-K-CO2
一氧化碳 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm 與鍺烷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-HYD
氫 0-1000 ppm 套件 MIDAS-K-H2X
氫 0-100% LEL 與甲烷 0-100% LEL 套件1 MIDAS-K-LEL
氰化氫 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-HCN
硒化氫 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-HSE
硫化氫 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-H2S
一氧化氮 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NOX
二氧化氮 0-12 ppm 套件 MIDAS-K-NO2
氧氣 0-25% v 套件 MIDAS-K-O2X
臭氧 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-O3X
磷化氫 0-1.2 ppm 套件 MIDAS-K-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-POC
硅烷 0-20 ppm 與 乙硅烷 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-SHX
硅烷 低級別 0-2 ppm 套件 MIDAS-K-SHL
四氟化硫0-0.8 ppm 與三氟化氯 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-SF4
二氧化硫 0-8 ppm 套件 MIDAS-K-SO2
TEOS 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-TEO
1 MIDAS 探測器并未經過ETL 批準而用于在高于25% LEL 的分類區域進行監測或取樣。
16.7 附件及備件
描述 零部件編號
取樣線路管系管道適配器1283K1090
NF3 熱解模塊的加熱器元件 MIDAS-A-006
MIDAS 氣體探測器的替換泵總成 MIDAS-A-007
MIDAS氣體探測器的替換內部空氣過濾器MIDAS-A-009
RJ45 限制夾板替換 MIDAS-A-010
PoE 以太網注入器 MIDAS-A-011
PoE 24 點以太網Hub MIDAS-A-012
虛擬傳感器(與模擬模塊配套使用) MIDAS-A-013
用于CO 應用的IPA 洗滌器套件 1283K2220
IPA 過濾器替換 1830-0080
NF3 熱解氣體探測器的氟里昂過濾器 1830-0027
軟管 21" – 長度 0235-0128
軟管27" – 長度 0235-0163
軟管36" – 長度 0310-2055
MIDAS氣體探測器的操作說明和快速啟動指南– 英語MIDAS-A-001
線端微粒過濾器 0780248
氣體名稱 化學式 范圍 傳感器盒部件編
號
校準氣體 推薦的顛簸測試氣
體
氨 NH3 0-100 ppm MIDAS-S-NH3 氨 氨
砷化三氫 AsH3 0-0.2 ppm MI DAS-S-ASH 砷化三氫 磷化氫
三氯化硼 BCl3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
三氟化硼 BF3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
溴 Br2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
二氧化碳 CO2 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2 二氧化碳 二氧化碳
一氧化碳 CO 0-100 ppm MIDAS-S-COX 一氧化碳 一氧化碳
氯 Cl2 0-2.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
二氧化氯 ClO2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
三氟化氯 ClF3 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氫 氯
硼乙烷 B2 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD 硼乙烷 磷化氫
二氯甲硅烷 H2SiCl2 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
乙硅烷 Si2H6 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氫
氟 F2 0-4.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
鍺烷 GeH4 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD Diborane Phosphine
氫 (% LEL) H2 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氫 氫
氫(ppm) H2 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X 氫 氫
溴化氫 HBr 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
氯化氫 HCl 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氫 氯
氰化氫 HCN 0-20 ppm MIDAS-S-HCN 氰化氫 一氧化碳
氟化氫 HF 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
硒化氫 H2Se 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE 硅烷 硫化氫
硫化氫 H2S 0-40 ppm MIDAS-S-H2S 硫化氫 硫化氫
甲烷(% LEL) CH4 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氫 氫
二氧化氮 NO2 0-12 ppm MIDAS-S-NO2 二氧化氮 二氧化氮
一氧化氮 NO 0-100 ppm MIDAS-S-NOX 一氧化氮 一氧化氮
三氟化氮 NF3 0-40 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
氧氣重組&不足 O2 0-25% vol MIDAS-S-O2X 氧氣 空氣
臭氧 O3 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X 臭氧 氯氣
磷化氫 PH3 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3 磷化氫 磷化氫
氯氧化磷 POCl3 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC 氯化氫 氯
硅烷 SiH4 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氫
硅烷(低級別) SiH4 0-2.0 ppm MIDAS-S-SHL 硅烷 硫化氫
二氧化硫 SO2 0-8.0 ppm MIDAS-S-SO2 二氧化硫 二氧化硫
四氟化硫 SF4 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氫 氯
正硅酸乙酯 TEOS 0-40 ppm MIDAS-S-TEO TEOS 一氧化碳
六氟化鎢 WF6 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氫 氯
目標氣體 化學式 傳感器盒部件編號 范圍 (ppm) 推薦顛簸測試氣體濃度
(ppm)
流率
(cc/min)
最大時間
氨 NH3 MIDAS-S-NH3 100 氨 50 500 120
砷化三氫 AsH3 MIDAS-S-ASH 0.2 磷化氫 0.5 500 120
三氯化硼 BCl3 MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
三氟化硼 BF3 MIDAS-S-HFX 8 氯 5 500 120
溴 Br2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
二氧化碳 CO2 MIDAS-S-CO2 2% v 二氧化碳 2% v 500 120
一氧化碳 CO MIDAS-S-COX 100 一氧化碳 100 500 120
氯 Cl2 MIDAS-S-HAL 2 氯 2 500 120
二氧化氯 ClO2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
三氟化氯 ClF3 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 低 500 120
硼乙烷 B2H6 MIDAS-S-HYD 0.4 磷化氫 0.5 500 120
二氯甲硅烷 SH2Cl2 MIDAS-S-HCl 10 氯 5 500 120
乙硅烷 Si2 MIDAS-S-SHX 20 硫化氫 < 25 500 120
氟 F2 MIDAS-S-HAL 4 氯 5 500 120
鍺烷 GeH4 MIDAS-S-HYD 0.8 磷化氫 0.5 500 120
氫 H2(ppm) MIDAS-S-H2X 1,000 氫 1000 500 120
氫 H2(%LEL) MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲烷 500 120
目標氣體 化學式 傳感器盒部件編
號
范圍 (ppm) 推薦顛簸測試氣體濃度 (ppm) 流率
(cc/min)
最大時間
溴化氫 HBr MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
氯化氫 HCl MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
氰化氫 HCN MIDAS-S-HCN 20 二氧化硫 15 500 120
氟化氫 HF MIDAS-S-HFX 12 氯 5 500 120
硒化氫 H2Se MIDAS-S-HSE 0.4 硫化氫 低 500 120
硫化氫 H2S MIDAS-S-H2S 40 硫化氫 25 500 120
甲烷 CH4 MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲烷 500 120
一氧化氮 NO MIDAS-S-NOX 100 一氧化氮 50 500 120
二氧化氮 NO2 MIDAS-S-NO2 12 二氧化氮 10 500 120
三氟化氮 NF3 MIDAS-S-HFX 40 氯 5 500 120
氧氣 O2 MIDAS-S-O2X 25% v 空氣 500 120
臭氧 O3 MIDAS-S-O3X 0.4 氯 低 500 120
磷化氫 PH3 MIDAS-S-PH3 1 磷化氫 0.5 500 120
氯氧化磷 POCl3 MIDAS-S-POC 0.8 氯 低 500 120
硅烷 SiH4 MIADS-S-SHX 2 硫化氫 < 25 500 120
硅烷 SiH4 MIDAS-S-SHL 20 硫化氫 < 25 500 120
二氧化硫 SO2 MIDAS-S-SO2 8 二氧化硫 8 500 120
四氟化硫 SF4 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 Low 500 120
TEOS TEOS MIDAS-S-TEO 40 一氧化碳 100 500 120
六氟化鎢 WF6 MIDAS-S-HFX 12 氯 5 500 120