Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
ENTEGRIS過濾器，WGMXMSRR2
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?濾芯?? ?由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
??? ?住房?? ?電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
??? ?揮發(fā)物（銀）?? ?<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級?? ?≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部?? ?WGMX（青銅）MB XXXX?? ?≤20 μin Ra
??? ?WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX?? ?≤7 μin Ra
氦泄漏等級?? ?合格的?? ?2 x 10 -10 atm-cc/秒
??? ?經(jīng)過測試?? ?1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
??? ?最大入口壓力
??? ?Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
??? ? ?? ?青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
??? ? ?? ?Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
??? ?最大正向壓差?? ?7 巴 (102 psid)
??? ?最大反向壓差?? ?2.5 巴 (36 psid)
??? ?最高工作溫度?? ?120°C (248°F)
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)
保修單?? ?青銅?? ?1年
??? ?銀?? ?3年
顆粒保留?? ?大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號?? ?接頭尺寸和類型?? ?長度
WGMXMBPRF2?? ?1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口?? ?141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2?? ?1/4" 公 VCR?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4?? ?1/2" 公 VCR?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2?? ?1/4" 世偉洛克?? ?112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3?? ?3/8" 世偉洛克?? ?117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4?? ?1/2" 世偉洛克?? ?118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2?? ?1/4" 公 VCR?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4?? ?1/2" 公 VCR?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2?? ?1/4" 世偉洛克?? ?112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3?? ?3/8" 世偉洛克?? ?117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4?? ?1/2" 世偉洛克?? ?118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2?? ?1/4" 對焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3?? ?3/8" 對焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4?? ?1/2" 對焊管?? ?133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2?? ?1/4" 公 VCR?? ?127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4?? ?1/2" 公 VCR?? ?127 毫米（5.00 英寸）
